等離子質譜儀——ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質譜法(Inductively coupled plasma-Mass Spectrometry)它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態分析。

因等離子質譜儀（ICP-MS）其內部運作中使用的載氣，輔助氣和冷卻氣需要的都是氬氣。所以使用液態灌裝的液氬杜瓦瓶為其供應氬氣成為其必不可少的配套設備。 ICP-MS 質譜儀配套查特液氬杜瓦瓶，等離子質譜儀ICP-MS氬氣消耗非常大的儀器設備，就ICP-MS質譜儀的使用的原理，其每分鐘消耗17L的氬氣，每小時消耗1020 L約等于1 m3冷卻氣Coolant Gas (或稱等離子氣Plasma Gas) .所以，如此高速率消耗的氬氣，使用常規鋼瓶供氣顯然是不可能實現的，所以，在ICP-MS質譜儀實驗配置中，必須使用占地少且高效的液體灌裝的液氬杜瓦瓶產品配套使用。

配置要求

1 根據儀器耗氣量測算，一般配置一臺180MP型液氬杜瓦瓶或200MP型液氬杜瓦瓶較為適宜。

2 出氣端配置一套雙表頭氬氣減壓閥，為罐體內汽化出的氬氣減壓成儀器所需壓力氬氣。

3 氬氣出口端配置管路接頭，接等離子質譜儀ICP-MS